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在半導體行業,井式坩堝爐作為關鍵設備,其性能直接影響著產品的質量。這種爐子,不僅能夠煅燒真空或惰性氣體中的高純度化合物,還能對半導體晶片進行退火或擴散處理。今天,我們就來詳細了解下這款高效、節能的井式坩堝爐。
首先,井式坩堝爐的加熱元件采用的是進口含鉬電阻絲或者硅碳棒,保證了加熱效率。雙層殼體結構和智能化程序控溫系統,使得爐膛溫度均衡、表面溫度低。此外,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風冷系統,能快速升降溫。
在應用方面,井式坩堝爐主要用于高校、科研院所、工礦企業進行高純度化合物的煅燒、半導體晶片的退火或擴散處理。它還能用于烘燒或燒結陶瓷材料等。
值得一提的是,這款爐子集控制系統與爐膛一體。保溫材料采用整體真空吸附成型,程控鑲嵌進口電阻絲。超大口徑的石英爐腔和真空密封法蘭系統,可在流動氣氛和真空狀態下快速加熱樣品。
在技術層面,井式坩堝爐具有以下特點:
1. 發熱元件采用高品質鉬鐵鉻鋁合金,可加熱到1200℃;
2. 高精度不銹鋼針閥和真空表及真空法蘭可直接使用;
3. 內置30段可編程精密數字溫度控制器可控制升降溫速率。
總的來說,井式坩堝爐以其高效、節能、精準的特點,成為了半導體行業的重要設備。隨著技術的不斷發展,相信這款設備會在更多領域發揮出更大的作用。

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